半导体制造业正经历日益严峻的成本挑战,如何降低成本、最大限度地降低由于成品率的损失而造成成本的提升,已成为提升竞争力的关键。近日,世伟洛克公司专门向中国市场引入了洁净链这种新的综合性方法用于超高纯(UHP)流体系统零部件生产,旨在帮助提高半导体业的成品率。
自引入洁净链以来,在UHP工艺需求不断变化的刺激下,世伟洛克洁净链的每个环节都已经过无数次改进。目前,世伟洛克为半导体应用提供一系列的高纯度和超高纯度流体系统部件,其中包括隔膜阀、含氟聚合物阀门和卡套管、PFA接头、陶瓷过滤器、UHP传感器、IGC® II模块化气体系统、以及垂直流量传感器。
世伟洛克公司开发洁净链以生产用于超洁净系统的零部件
“世伟洛克一贯坚持以我们的工程和制造专业技术,为半导体制造业开发设计完善的解决方案和创新的超高纯产品。”世伟洛克全球技术经理蒋倍德(John Baxter)表示,“我们也感到很荣幸,世伟洛克洁净链已经为提升半导体业的生产效率而服务。”
在半导体行业中,从设计、生产到封装测试的全过程都需要一个严格洁净的环境。生产超洁净系统阀和接头不仅需要电抛光早期设计使其看起来闪亮平滑,还需专门研发出新设计、材料和方法满足严苛的清洁规范要求。世伟洛克洁净链包括七个环节:设计、材料选择、生产、洁净、检验、包装和安装。每个环节相互依赖,任何一环失误都会导致整条洁净链失效。
设计要利于清洗。零部件可被简单迅速地清洗和净化,应用中很少生成颗粒,几乎没有区域造成截留。
材料选择指对用于生产清洁、无泄漏零部件的原材料仔细选择,重点放在化学成分、材料特性、夹杂物及其它材料特征上。
生产需要高质量原材料;先进工具和机器,抛光和生产方法;提供稳定产品、光滑表面精度和可靠性能的统计过程控制(SPC)。生产过程中,尺寸和表面精度必须严密监控。每一件加工零部件必须有极好表面精度、平滑过渡、全清扫流道和平整焊端以将截留区或产生颗粒数最小化。世伟洛克采用各种材料分析和工艺控制保证UHP质量标准。另外,精益生产方法也为加强质量和洁净度做出贡献。
洁净包括专门设计满足超洁净系统和无尘室组装及零部件测试洁净度等级的可控工艺和系统。由于生产中每一步都会导致污染,零部件必须在每一生产环节后都彻底清洁达到UHP系统所需洁净度。有些污染可通过有机溶液清除,其它则需碱性或酸性清洁剂清洁。有些污染清洁工艺可能对别的污染不适用。因此,每一清洁过程都必须适应接下来所进行的生产环节。
检验包括质量保证和一系列确认产品洁净度和质量的工艺控制和先进表面分析技术测试。
包装要保持通过可控清洁及无尘室工艺所达到的洁净度,并运送产品准备安装。接头和组装好的阀在等级100环境内包装。阀门中润湿部件不需使用润滑油,且端接已经包裹住防止运输过程中污染。每一阀和接头都是双层包装:内部包装袋材料是耐腐损的尼龙,经干燥过滤的氮气吹扫过并充满此气体;此密封尼龙袋被加热密封在一个外部聚乙烯袋中。此密封袋经过单独包装后运输。
安装是零部件生产到UHP系统使用之间的最后一环。在此阶段,必须以之前组成洁净链各环节的作法为系统设计人员和最终安装用户的指南,如使用前要保持流体系统零部件原来的洁净度。UHP系统的质量、整体性和洁净度不仅依赖于组装成系统的零部件,也依赖于系统是怎样制造和安装。安装是零部件生产和UHP系统使用间的最终环节。因此,系统设计人员和用户必须以之前洁净链各环节中所遵循规定为指导,这样在系统使用前确保流体系统零部件原来的洁净度。
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